Linia do napylania magnetronowego z lustrem aluminiowym
Krótki opis:
Aluminium Mirror Inline Magnetron Sputtering Line jest przeznaczony do produkcji szklanych luster o wysokiej wydajności.Aby pokryć większe szkło i zadbać o delikatną taflę szkła, szczególnie w przypadku tafli o dużych rozmiarach, zwykle wykonujemy linię napylania poziomego.Jest to ciągła linia do powlekania magnetronem, z przednią i tylną komorą pompowania zgrubnego, a po komorze przejściowej, przed i po komorze dokładnego pompowania, komora buforowa, pomieszczenie do kolorowania.
Docelowy projekt: cylindryczne katody do napylania magnetronowego i/lub płaskie katody.
Źródło zasilania: zasilacz z rozpylaniem magnetronowym o dużej mocy DC lub MF
Układ napędowy: napęd rolkowy, regulacja częstotliwości, indukcyjny system otwierania drzwi pokojowych.
System próżniowy: pompa dyfuzyjna (lub pompa turbomolekularna) + pompa korzeniowa + pompa mechaniczna
Linia do napylania magnetronowego z lustrem aluminiowym w linii jest zwykle wyposażona w wiele komór próżniowych, które uzupełniają powlekanie próżniowe na taflach szklanych.
Główne cechy:
1. Maksymalny rozmiar powłoki szklanej: 2440 x 3660 mm lub dostosowany
2. Dostępne są komory z wieloma próżniami i komory z wieloma napylaczami
3. Pozioma magnetyczna linia kontrolna ma strukturę jedno- i dwustronną;podwójne czyszczenie szkła, powlekanie, wykrywanie, malowanie, suszenie, chłodzenie można zakończyć jednocześnie
4. Linia do powlekania napylaniem wykorzystuje PLC do kontroli całego procesu i jest wyposażona w kolorowy ekran do wyświetlania danych procesu powlekania
Warstwa powłok: tytan, chrom, stal nierdzewna, aluminium, srebro, miedź itp.
Związek: TiN, TiO2 itp.
Grubość warstwy: 5-100nm
Transmisja: 8-40% przy długości fali 380-780 nm
Temperatura osadzania: temperatura pokojowa
Maksymalne ciśnienie po 8 godzinach odpompowania:
Komora zamka wejściowego i komora zamka próżniowego: 5 × 10-1 Pa lub mniej
Komora buforowa 1: 3×10-3 Pa lub mniej
Komora rozpylająca: 2 × 10-3 Pa lub mniej
Komora buforowa 2: 3×10-3 Pa lub mniej
Komora śluzy wyjściowej i komora próżniowa: 5 × 10-1 Pa lub mniej