Maszyna rozpylająca Magetron
-
Próżniowa maszyna do napylania magnetronowego cienkich warstw
Próżniowa technika rozpylania magnetronowego polega na zastosowaniu żeńskiej, dwubiegunowej powierzchni elektrody z polem magnetycznym elektronu w dryfie powierzchni katody, poprzez ustawienie pola elektrycznego powierzchni docelowej prostopadle do pola magnetycznego, elektron zwiększa skok, zwiększa szybkość jonizacji gazu, podczas gdy wysokoenergetyczne cząstki gazują i tracą energię po zderzeniu, a więc obniżają temperaturę podłoża, całkowite pokrycie materiału nieodpornego na temperaturę.
-
System napylania magnetronowego metodą osadzania próżniowego
System napylania magnetronowego do napylania próżniowego jest rodzajem urządzenia próżniowego, które może być używane do nakładania cienkich warstw powłoki na różne surowce z powłokami metalicznymi lub funkcjonalnymi.
-
Magnetronowa maszyna do powlekania przez napylanie katodowe plastikowych sztućców jednorazowych
Rozpylanie magnetronowe jest obecnie szeroko stosowaną technologią osadzania cienkich warstw.Wraz z ciągłym rozwojem technologii napylania katodowego i poszukiwaniem nowych folii funkcjonalnych, zastosowanie napylania magnetronowego zostało rozszerzone na wiele dziedzin produkcji i badań naukowych.Jako technologia powlekania nietermicznego w dziedzinie mikroelektroniki jest stosowana głównie w chemicznym osadzeniu z fazy gazowej (CVD) lub chemicznym osadzeniu z fazy gazowej metali organicznych (MOCVD) do osadzania cienkich warstw materiałów, które są trudne w uprawie i nieodpowiednie i mogą uzyskać bardzo jednolite cienkie warstwy na dużych obszarach.
